Placa portadora de SiC Conductividade térmica Resistência à corrosão Wafer MOCVD
Detalhes do produto:
Lugar de origem: | China |
Marca: | ZMSH |
Condições de Pagamento e Envio:
Termos de pagamento: | T/T |
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Informação detalhada |
Descrição de produto
Introdução da placa portadora de SiC
A placa transportadora SiC é um substrato de suporte de precisão fabricado a partir de carburo de silício de alta pureza.e excelente resistência à corrosão químicaCom uma superfície precisamente usinada e polida, as placas transportadoras de SiC são amplamente utilizadas no processamento de wafers, epitaxia MOCVD, recozimento a alta temperatura e outras aplicações exigentes.Em comparação com materiais tradicionais como quartzo ou AlN, SiC proporciona superior estabilidade térmica e vida útil prolongada.
Princípio de funcionamentoDe placas portadoras de SiC
Em processos de alta temperatura, a placa transportadora de SiC serve de suporte para transportar wafers ou materiais de película fina.Melhorar a estabilidade e a uniformidade dos processosAlém disso, devido à sua dureza e inércia química, a chapa mantém a integridade estrutural mesmo em ambientes corrosivos, garantindo a pureza do produto e a segurança do equipamento.
Aplicações típicasDe placas portadoras de SiC
- Suporte de substrato na epitaxia da MOCVD
- Processamento térmico de semicondutores de banda larga como o SiC e o GaN
- Processos de recozimento, sinterização e difusão de wafers
- Dispersores e transportadores de calor na fabricação de chips LED
- Transporte e suporte de materiais em ambientes de alto vácuo ou corrosivos
Perguntas e respostasDe placas portadoras de SiC
P1: Qual é a temperatura máxima de funcionamento das placas portadoras de SiC?
R: As placas de SiC podem normalmente suportar temperaturas de até 1600°C ou superiores, dependendo do ambiente de processamento e da duração.
P2: Como o SiC se compara com os portadores de AlN ou quartzo?
R: O SiC oferece maior condutividade térmica, superior resistência ao choque térmico e maior vida útil, tornando-o ideal para aplicações duras e de uso repetido.
Q3: O tamanho e a forma podem ser personalizados?
R: Sim, oferecemos tamanhos, espessuras, padrões de buracos e acabamentos de superfície personalizados para atender às suas necessidades específicas de equipamentos e processos.
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