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Mão de Wafer SiC para manuseio de wafer, compatível com sala limpa, resistente à corrosão, interface personalizável
Detalhes do produto:
| Marca: | ZMSH |
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Informação detalhada |
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| Densidade: | 30,21 g/cm3 | Dureza: | 2500Dureza Vickers |
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| Tamanho do grão: | 2 ~ 10 μm | Purificação química: | 99.99995% |
| Capacidade térmica: | 640J·kg-1 ·K-1 | Temperatura de sublimação: | 2700°C |
Descrição de produto
Introdução ao produto da Wafer Hand
A mão da bolacha de SiC é um efetor final projetado para manusear bolachas com alta dureza e estabilidade térmica.oferece uma excelente resistência mecânica, resistência à corrosão, durabilidade térmica e desempenho ultra-limpo.e safira em ambientes limpos e de alta temperatura.
Estrutura e Princípio de Funcionamento da Mão de Wafer
A mão de wafer de SiC suporta as wafers pela borda ou por trás usando estruturas semelhantes a garfos ou plataformas personalizadas.ou agarras mecânicas que permitam a transferência sem contacto ou com contacto mínimoA sua elevada rigidez estrutural assegura a estabilidade dimensional durante o transporte, permitindo um posicionamento preciso da bolacha e um risco mínimo de contaminação.
Campos de aplicação da Wafer Hand
As mãos de wafer são amplamente usadas nos seguintes processos de semicondutores e optoeletrônicos:
1.Sistemas de transporte de wafer (por exemplo, EFEM, carregador FOUP, interfaces SMIF pod)
2- Carregamento/descarregamento de wafers para litografia, gravação, implantação de íons, processamento térmico
3Ferramentas de inspecção, triagem e classificação de wafers
4.A ligação, o corte em pedaços, a embalagem e as estações de ensaio finais
5- Manipulação de precisão em painéis de exibição, MEMS e fabricação de biochips
6. Adequado para Si, SiC, GaAs, GaN, safira e outros substratos
Vantagens do produtode WA mão
A: Suporta wafers de 2 a 12 polegadas; tamanhos personalizados também estão disponíveis.
P2: A mão da bolacha arranha ou contamina a bolacha?
A: Não. A mão é feita de materiais resistentes ao desgaste, com pequenas partículas, bordas amarradas e conformidade com os padrões da sala limpa.
P3: Pode ser integrado com sistemas robóticos?
R: Sim, suporta várias interfaces robóticas (por exemplo, SECS / GEM, padrões SEMI) e pode ser personalizado para sistemas específicos.
Q4: Qual é a expectativa de vida útil e os requisitos de manutenção?
R: Projetado para mais de 1 milhão de ciclos de funcionamento com manutenção mínima; basta uma limpeza periódica.
Q5: Pode ser personalizado com base em diferentes materiais de wafer (Si, SiC, safira, etc.)?
R: Sim. Oferecemos projetos personalizados otimizados para vários materiais de wafer com estruturas de suporte adequadas.
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