Mão de Wafer SiC para manuseio de wafer, compatível com sala limpa, resistente à corrosão, interface personalizável

Introdução ao produto da Wafer Hand
 

A mão da bolacha de SiC é um efetor final projetado para manusear bolachas com alta dureza e estabilidade térmica.oferece uma excelente resistência mecânica, resistência à corrosão, durabilidade térmica e desempenho ultra-limpo.e safira em ambientes limpos e de alta temperatura.

Estrutura e Princípio de Funcionamento da Mão de Wafer

A mão de wafer de SiC suporta as wafers pela borda ou por trás usando estruturas semelhantes a garfos ou plataformas personalizadas.ou agarras mecânicas que permitam a transferência sem contacto ou com contacto mínimoA sua elevada rigidez estrutural assegura a estabilidade dimensional durante o transporte, permitindo um posicionamento preciso da bolacha e um risco mínimo de contaminação.

Campos de aplicação da Wafer Hand

As mãos de wafer são amplamente usadas nos seguintes processos de semicondutores e optoeletrônicos:

1.Sistemas de transporte de wafer (por exemplo, EFEM, carregador FOUP, interfaces SMIF pod)

2- Carregamento/descarregamento de wafers para litografia, gravação, implantação de íons, processamento térmico
3Ferramentas de inspecção, triagem e classificação de wafers

4.A ligação, o corte em pedaços, a embalagem e as estações de ensaio finais

5- Manipulação de precisão em painéis de exibição, MEMS e fabricação de biochips

6. Adequado para Si, SiC, GaAs, GaN, safira e outros substratos

Vantagens do produtode WA mão

P2: A mão da bolacha arranha ou contamina a bolacha?
A: Não. A mão é feita de materiais resistentes ao desgaste, com pequenas partículas, bordas amarradas e conformidade com os padrões da sala limpa.

P3: Pode ser integrado com sistemas robóticos?
R: Sim, suporta várias interfaces robóticas (por exemplo, SECS / GEM, padrões SEMI) e pode ser personalizado para sistemas específicos.

Q4: Qual é a expectativa de vida útil e os requisitos de manutenção?
R: Projetado para mais de 1 milhão de ciclos de funcionamento com manutenção mínima; basta uma limpeza periódica.

Q5: Pode ser personalizado com base em diferentes materiais de wafer (Si, SiC, safira, etc.)?
R: Sim. Oferecemos projetos personalizados otimizados para vários materiais de wafer com estruturas de suporte adequadas.

Produtos relacionados

12 polegadas Wafer SiC 300mm Wafer de carburo de silício condutivo Dummy Grau N-tipo de pesquisa

4H/6H P-Type Sic Wafer 4 polegadas 6 polegadas Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Direção P-type Doping