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Indústrias de semicondutores automatizadas
Detalhes do produto:
| Lugar de origem: | China |
| Marca: | ZMSH |
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Informação detalhada |
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| Dimensões: | 7740 × 3390 × 2300 mm (L × W × H) | Fornecimento de energia: | AC380V, 50Hz, potência total 90KW |
|---|---|---|---|
| Fornecimento pneumático: | 2 m3/h, 0,4-0,5 MPa Ar seco sem óleo | Fornecimento de água: | 2T/h @0,3MPa, ≥12MΩ·cm Resistividade |
| Destacar: | Indústrias de semicondutores Máquina integrada de limpeza de cera,Máquina integrada de limpeza de discos de cerâmica |
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Descrição de produto
Visão geral do produto
Esta máquina integrada de limpeza e enceragem de discos de cerâmica combina um limpador de discos de cerâmica com dois montadores de discos de cerâmica,com um diâmetro superior a 50 mm,, alcançando uma taxa de rendimento estável de 99,9%.
Especificações técnicas
| Parâmetro | Valor |
| Dimensões | 7740 × 3390 × 2300 mm (L × W × H) |
| Fornecimento de energia | AC380V, 50Hz, potência total 90KW |
| Fornecimento pneumático | 2 m3/h, 0,4-0,5 MPa Ar seco sem óleo |
| Fornecimento de água | 2T/h @0,3MPa, ≥12MΩ·cm Resistividade |
Princípio de funcionamento
Fase de limpeza de disco cerâmico
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Limpeza de precisão: Utiliza a limpeza por ultra-som com água deionizada (≥ 12 MΩ·cm) para remover contaminantes a nível de micrões dos discos de cerâmica.
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Sistema de secagem: As facas de ar de alta eficiência e a secagem a vácuo garantem umidade residual zero.
Processo automatizado de enceragem
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Alinhamento da visão: As câmaras CCD escaneiam as coordenadas da superfície do disco, alcançando uma precisão de posicionamento de ±0,02 mm.
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Deposição controlada de cera: Cabeças de distribuição de cera programáveis aplicam 0,8 g ± 0,05 g de cera por bolacha.
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Optimização da pressão: Os atuadores pneumáticos mantêm uma pressão de contacto uniforme de 5 a 10 N/cm2 durante a montagem da bolacha.
Controle integrado
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Operação sincronizada: O PLC coordena o módulo de limpeza e as duas estações de depilação, permitindo o processamento paralelo (máximo 30 discos/hora).
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Feedback de qualidade: Os sensores de espessura em tempo real detectam a uniformidade da camada de cera, ajustando automaticamente os parâmetros se os desvios forem superiores a ±3%.
Principais vantagens
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Eficiência energética: Taxa de reciclagem de água pura > 80%, consumo de cera 0,8 g/wafer, 35% menos energia por disco
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Conectividade inteligente: Compatível com MES/ERP para a rastreabilidade dos dados de processo completo (espessura/pressão/tempo)
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Escalabilidade: Ferramentas e receitas personalizáveis para discos não-padrão Φ300-650 mm
Capacidade de produção
| Tamanho da bolacha | Diâmetro do disco | Quantidade | Tempo do ciclo |
| 4 polegadas | Φ485 mm | 11pcs | 5 min/disco |
| 4 polegadas | Φ576 mm | 13 pcs. | 6min/disco |
| 15 cm | Φ485 mm | 6pcs | 3min/disco |
| 15 cm | Φ576 mm | 8pcs | 4min/disco |
| 8 polegadas | Φ485 mm | 3pcs | 2 min/disco |
| 8 polegadas | Φ576 mm | 5pcs | 3min/disco |
Aplicações
Tratamento de disco cerâmico de processo completo: Limpeza→Seca→Aquecimento em uma máquina
É utilizado no processamento de materiais semicondutores como o carburo de silício (SiC), silício (Si), nitruro de gálio (GaN), e também pode ser usado para materiais como safira, cerâmica, cristal,MEMS, e produtos ópticos.
Perguntas e respostas
Q1: Como garantir a taxa de rendimento?
A1: O sistema de visão dedicado para discos de cerâmica atinge uma precisão de alinhamento em tempo real de ±0,02 mm.
P2: Consumo de água da limpeza de discos cerâmicos?
A2: Taxa de reciclagem de água > 80%, consumo ≤ 0,5 L/disco.
Q3: Como conseguir uma rápida mudança de tamanho da bolacha?
A3: A biblioteca de luminárias inteligentes da máquina integrada altera automaticamente a ferramenta através da seleção HMI (tempo de mudança <3min).