| Nome da marca: | ZMSH |
| MOQ: | 1 |
| preço: | by case |
| Detalhes da embalagem: | caixas personalizadas |
| Condições de pagamento: | T/T. |
O wafer de 6 polegadas de Carbeto de Silício (SiC) é um substrato semicondutor de última geração projetado para aplicações eletrônicas de alta potência, alta temperatura e alta frequência. Com condutividade térmica superior, ampla banda proibida e estabilidade química, os wafers de SiC permitem a fabricação de dispositivos de potência avançados que oferecem maior eficiência, maior confiabilidade e pegadas menores em comparação com as tecnologias tradicionais baseadas em silício.
A ampla banda proibida do SiC (~3,26 eV) permite que dispositivos eletrônicos operem em tensões superiores a 1.200 V, temperaturas acima de 200°C e frequências de comutação várias vezes maiores do que o silício. O formato de 6 polegadas oferece uma combinação equilibrada de escalabilidade de fabricação e custo-benefício, tornando-o o tamanho principal para a produção industrial em massa de MOSFETs de SiC, diodos Schottky e wafers epitaxiais.
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O wafer de SiC de 6 polegadas é cultivado usando a Tecnologia de Transporte de Vapor Físico (PVT) ou Crescimento por Sublimação. Nesse processo, o pó de SiC de alta pureza é sublimado em temperaturas superiores a 2.000°C e recristalizado em um cristal semente sob gradientes térmicos precisamente controlados. O lingote de SiC de cristal único resultante é então fatiado, lapidado, polido e limpo para obter planicidade e qualidade de superfície de nível de wafer.
Para a fabricação de dispositivos, camadas epitaxiais são depositadas na superfície do wafer via Deposição Química de Vapor (CVD), permitindo o controle preciso sobre a concentração de dopagem e a espessura da camada. Isso garante um desempenho elétrico uniforme e defeitos mínimos de cristal em toda a superfície do wafer.
Ampla Banda Proibida (3,26 eV): Permite operação de alta tensão e eficiência de energia superior.
Alta Condutividade Térmica (4,9 W/cm·K): Garante a dissipação eficiente de calor para dispositivos de alta potência.
Alto Campo Elétrico de Ruptura (3 MV/cm): Permite estruturas de dispositivos mais finas com menor corrente de fuga.
Alta Velocidade de Saturação de Elétrons: Suporta comutação de alta frequência e tempos de resposta mais rápidos.
Excelente Resistência Química e à Radiação: Ideal para ambientes agressivos, como aeroespacial e sistemas de energia.
Diâmetro Maior (6 polegadas): Melhora o rendimento do wafer e reduz o custo por dispositivo na produção em massa.
SiC em Óculos AR:
Materiais de SiC melhoram a eficiência energética, reduzem a geração de calor e permitem sistemas AR mais finos e leves por meio de alta condutividade térmica e propriedades de ampla banda proibida.
SiC em MOSFETs:
MOSFETs de SiC fornecem comutação rápida, alta tensão de ruptura e baixa perda, tornando-os ideais para drivers de microdisplay e circuitos de energia de projeção a laser.
SiC em SBDs:
Diodos de Barreira Schottky de SiC oferecem retificação ultrarrápida e baixa perda de recuperação reversa, aprimorando o carregamento e a eficiência do conversor CC/CC em óculos AR.
Especificação do wafer de SiC tipo 4H-N de 6 polegadas |
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| Propriedade | Grau de Produção Zero MPD (Grau Z) | Grau Dummy (Grau D) |
| Grau | Grau de Produção Zero MPD (Grau Z) | Grau Dummy (Grau D) |
| Diâmetro | 149,5 mm - 150,0 mm | 149,5 mm - 150,0 mm |
| Poli-tipo | 4H | 4H |
| Espessura | 350 µm ± 15 µm | 350 µm ± 25 µm |
| Orientação do Wafer | Fora do eixo: 4,0° em direção a <1120> ± 0,5° | Fora do eixo: 4,0° em direção a <1120> ± 0,5° |
| Densidade de Micropipos | ≤ 0,2 cm² | ≤ 15 cm² |
| Resistividade | 0,015 - 0,024 Ω·cm | 0,015 - 0,028 Ω·cm |
| Orientação Plana Primária | [10-10] ± 50° | [10-10] ± 50° |
| Comprimento Plano Primário | 475 mm ± 2,0 mm | 475 mm ± 2,0 mm |
| Exclusão de Borda | 3 mm | 3 mm |
| LTV/TIV / Curvatura / Empenamento | ≤ 2,5 µm / ≤ 6 µm / ≤ 25 µm / ≤ 35 µm | ≤ 5 µm / ≤ 15 µm / ≤ 40 µm / ≤ 60 µm |
| Rugosidade | Polimento Ra ≤ 1 nm | Polimento Ra ≤ 1 nm |
| CMP Ra | ≤ 0,2 nm | ≤ 0,5 nm |
| Fissuras de Borda por Luz de Alta Intensidade | Comprimento cumulativo ≤ 20 mm, comprimento único ≤ 2 mm | Comprimento cumulativo ≤ 20 mm, comprimento único ≤ 2 mm |
| Placas Hexagonais por Luz de Alta Intensidade | Área cumulativa ≤ 0,05% | Área cumulativa ≤ 0,1% |
| Áreas de Polímero por Luz de Alta Intensidade | Área cumulativa ≤ 0,05% | Área cumulativa ≤ 3% |
| Inclusões Visuais de Carbono | Área cumulativa ≤ 0,05% | Área cumulativa ≤ 5% |
| Arranhões na Superfície de Silício por Luz de Alta Intensidade | Comprimento cumulativo ≤ 1 diâmetro do wafer | |
| Lascas de Borda por Luz de Alta Intensidade | Nenhuma permitida ≥ 0,2 mm de largura e profundidade | 7 permitidas, ≤ 1 mm cada |
| Dislocação de Parafuso de Rosca | < 500 cm³ | < 500 cm³ |
| Contaminação da Superfície de Silício por Luz de Alta Intensidade | ||
| Embalagem | Cassete Multi-wafer ou Recipiente de Wafer Único | Cassete Multi-wafer ou Recipiente de Wafer Único |
Alto Rendimento e Baixa Densidade de Defeitos: Processo avançado de crescimento de cristal garante micropipos e deslocamentos mínimos.
Capacidade de Epitaxia Estável: Compatível com múltiplos processos de fabricação de dispositivos e epitaxiais.
Especificações Personalizáveis: Disponível em várias orientações, níveis de dopagem e espessuras.
Controle de Qualidade Rigoroso: Inspeção completa via XRD, AFM e mapeamento PL para garantir a uniformidade.
Suporte à Cadeia de Suprimentos Global: Capacidade de produção confiável para pedidos de protótipos e volumes.
P1: Qual é a diferença entre wafers 4H-SiC e 6H-SiC?
A1: 4H-SiC oferece maior mobilidade de elétrons e é preferido para dispositivos de alta potência e alta frequência, enquanto 6H-SiC é adequado para aplicações que exigem maior tensão de ruptura e menor custo.
P2: O wafer pode ser fornecido com uma camada epitaxial?
A2: Sim. Wafers de SiC epitaxiais (epi-wafers) estão disponíveis com espessura, tipo de dopagem e uniformidade personalizados de acordo com os requisitos do dispositivo.
P3: Como o SiC se compara aos materiais GaN e Si?
A3: SiC suporta tensões e temperaturas mais altas do que GaN ou Si, tornando-o ideal para sistemas de alta potência. GaN é mais adequado para aplicações de alta frequência e baixa tensão.
P4: Quais orientações de superfície são comumente usadas?
A4: As orientações mais comuns são (0001) para dispositivos verticais e (11-20) ou (1-100) para estruturas de dispositivos laterais.
P5: Qual é o prazo de entrega típico para wafers de SiC de 6 polegadas?
A5: O prazo de entrega padrão é de aproximadamente 4–6 semanas, dependendo das especificações e do volume do pedido.