Orifícios de quartzo fundido Estabilidade térmica de alta pureza e clareza óptica para aplicações avançadas

Visão geral do produto de wafers de quartzo fundido

O quartzo fundido é a fase amorfa do quartzo (SiO2). em contraste com o vidro borosilicato, a sílica fundida não possui aditivos; portanto, existe em sua forma pura, SiO2.A sílica fundida tem uma maior transmissão no espectro infravermelho e ultravioleta em comparação com o vidro normalA sílica fundida é produzida pela fusão e re-solidificação do SiO2 ultrapuro.A sílica sintética fundida, por outro lado, é feita a partir de precursores químicos ricos em silício, como o SiCl4, que são gasificados e depois oxidados em uma atmosfera de H2 + O2.Os blocos de sílica fundidos são cortados em wafers, após o que os wafers são finalmente polidos.

Principais características e benefícios das placas de quartzo fundido

• Ultra-alta pureza (≥ 99,99% SiO2)
  Ideal para processos sensíveis à contaminação em semicondutores e fotônicos.

• Ampla gama de temperaturas
  Resiste a ambientes térmicos criogénicos > 1100 °C sem deformação.

• Transmissão UV e IR excepcional
  Oferece excelente clareza óptica de ultravioleta profunda (DUV) a infravermelho próximo (NIR).

• Baixa expansão térmica
  Assegura a estabilidade dimensional sob ciclo térmico, reduzindo a tensão dos componentes.

• Inercia química
  Resistente à maioria dos ácidos, bases e solventes; perfeito para condições de processo adversas.

• Controle da qualidade da superfície
  Disponível em formatos ultra suaves, polidos de dois lados para aplicações ópticas e MEMS.

Processo de Fabricação

As placas de quartzo fundido são produzidas através das seguintes etapas:

1. Selecção de matérias-primas:São selecionadas e purificadas areias ou cristais naturais de quartzo de alta pureza.

2. Fusão:Os grânulos de quartzo são derretidos a ~ 2000 °C em fornos elétricos sob atmosfera controlada para remover bolhas e impurezas.

3. Solidificação e formação de blocos:O material fundido é resfriado em lingotes ou blocos sólidos.

4. Trituração de wafer:Serras de fio de precisão cortam o quartzo fundido solidificado em pedaços em branco.

5. Limpeza e polir:As superfícies da bolacha são moídas, lavadas e polidas para obter espessura e planosidade exatas.

6. Limpeza e inspecção:As bolinhas finais são limpas por ultra-som em salas limpas da classe 100/1000 e inspeccionadas para detectar defeitos.

Aplicações

Os wafers de quartzo fundido são usados em indústrias que exigem transparência óptica, durabilidade térmica e resistência química:

Semicondutores

• Orifícios transportadores em processos de alta temperatura

• Máscaras de difusão e de implantação iónica

• Plataformas de gravação, deposição e inspecção

Fotônica e Óptica

• Substratos para revestimentos ópticos

• Jardins de laser e divisores de feixe

• Componentes ópticos UV e IR de precisão

Laboratório e Investigação

• Portadores de amostras para instrumentos analíticos

• Plataformas de análise microfluídica e química

• Substratos de reação a altas temperaturas

LED & Solar

• Orifícios de forno para fabricação de chips LED

• Substratos na investigação e desenvolvimento de células fotovoltaicas

Especificações disponíveis

Vantagens técnicas

• Estrutura semelhante a vidroElimina a birefringência encontrada no quartzo cristalino

• Sem eixo de cristal- ideal para o comportamento isotrópico em aplicações ópticas

• Superfície lisa e não porosapara melhorar a limpeza e a adesão do revestimento

• De peso não superior a 20 g/m2

• Graus de baixo teor de OHdisponível para uma melhor durabilidade UV

Perguntas Frequentes (FAQ)

P1: Qual é a diferença entre quartzo fundido e sílica fundida?
Ambos se referem ao SiO2 amorfo, mas a sílica fundida geralmente implica vidro de alta pureza produzido sinteticamente, enquanto o quartzo fundido é derivado do quartzo natural.Suas propriedades são quase idênticas na maioria das aplicações.

P2: As bolinhas de quartzo fundido podem ser usadas em ambientes de alto vácuo?
Sim, o quartzo fundido tem uma extrema baixa emissão de gases e alta estabilidade térmica, tornando-o ideal para sistemas de vácuo e aplicações espaciais.

P3: Essas placas são adequadas para aplicações de laser UV?
O quartzo fundido apresenta excelente transmissão na faixa UV profunda (até ~ 185 nm), tornando-o adequado para óptica a laser DUV e substratos de fotomasca.

Q4: Você oferece personalização?
Sim, fabricamos wafers com base nos requisitos do cliente, incluindo diâmetro, espessura, acabamento da superfície e padrões de corte a laser.