| Nome da marca: | ZMSH |
| Número do modelo: | Substrato de GaN sobre Si |
| MOQ: | 5 |
| Condições de pagamento: | T/T |
GaN-on-Si(111) N/P Ttype substrato Epitaxy 4 polegadas 6 polegadas 8 polegadas para LED ou dispositivo de energia
Os substratos GaN-on-Si (111) são essenciais em eletrônica e optoeletrônica de alto desempenho devido ao seu amplo bandgap, alta mobilidade eletrônica e condutividade térmica. Esses substratos aproveitam a economia e a escalabilidade do silício, permitindo wafers de grande diâmetro. No entanto, desafios como incompatibilidade de rede e diferenças de expansão térmica entre GaN e Si (111) devem ser abordados para reduzir a densidade e o estresse de deslocamento. Técnicas avançadas de crescimento epitaxial, como MOCVD e HVPE, são empregadas para otimizar a qualidade do cristal. Os substratos GaN-on-Si (111) são amplamente utilizados em eletrônica de potência, dispositivos de RF e tecnologia LED, oferecendo um equilíbrio entre desempenho, custo e compatibilidade com os processos existentes de fabricação de semicondutores.
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Nitreto de gálio em silício (GaN-on-Si) é uma tecnologia de substrato que combina as propriedades do nitreto de gálio (GaN) com a relação custo-benefício e escalabilidade do silício (Si). Os substratos GaN-on-Si são particularmente populares em eletrônica de potência, dispositivos de RF e LEDs devido às suas propriedades exclusivas. Abaixo estão algumas propriedades e vantagens principais dos substratos GaN-on-Si:
Os substratos GaN-on-Si oferecem uma solução econômica para integrar as propriedades de alto desempenho do GaN com a capacidade de fabricação em larga escala do silício, tornando-os uma tecnologia crítica em várias aplicações eletrônicas avançadas.
| Categoria de parâmetro | Parâmetro | Valor/intervalo | Observações |
|---|---|---|---|
| Propriedades dos materiais | Bandgap de GaN | 3,4 eV | Semicondutor de banda larga, adequado para aplicações de alta temperatura, alta tensão e alta frequência |
| Bandgap de Si | 1,12 eV | O silício como material de substrato oferece boa relação custo-benefício | |
| Condutividade Térmica | 130-170 W/m·K | Condutividade térmica da camada GaN; substrato de silício é de aproximadamente 149 W/m·K | |
| Mobilidade Eletrônica | 1000-2000 cm²/V·s | Mobilidade eletrônica na camada GaN, maior que no silício | |
| Constante dielétrica | 9,5 (GaN), 11,9 (Si) | Constantes dielétricas de GaN e Si | |
| Coeficiente de Expansão Térmica | 5,6 ppm/°C (GaN), 2,6 ppm/°C (Si) | Incompatibilidade nos coeficientes de expansão térmica de GaN e Si, potencialmente causando estresse | |
| Constante de rede | 3,189Å (GaN), 5,431Å (Si) | Incompatibilidade constante de rede entre GaN e Si, potencialmente levando a deslocamentos | |
| Densidade de Luxação | 10⁸-10⁹ cm⁻² | Densidade típica de deslocamento na camada GaN, dependendo do processo de crescimento epitaxial | |
| Dureza Mecânica | 9Mohs | Dureza mecânica do GaN, proporcionando resistência ao desgaste e durabilidade | |
| Especificações do wafer | Diâmetro da bolacha | 2 polegadas, 4 polegadas, 6 polegadas, 8 polegadas | Tamanhos comuns para GaN em wafers de Si |
| Espessura da camada GaN | 1-10 µm | Dependendo das necessidades específicas da aplicação | |
| Espessura do substrato | 500-725 µm | Espessura típica do substrato de silício para resistência mecânica | |
| Rugosidade Superficial | <1nm RMS | Rugosidade da superfície após o polimento, garantindo crescimento epitaxial de alta qualidade | |
| Altura do degrau | <2nm | Altura do degrau na camada GaN, afetando o desempenho do dispositivo | |
| Arco de wafer | < 50 µm | Arco wafer, influenciando a compatibilidade do processo | |
| Propriedades Elétricas | Concentração de Elétrons | 10¹⁶-10¹⁹ cm⁻³ | Concentração de dopagem tipo n ou tipo p na camada GaN |
| Resistividade | 10⁻³-10⁻²Ω·cm | Resistividade típica da camada GaN | |
| Campo Elétrico de Avaria | 3 MV/cm | Alta intensidade de campo de ruptura na camada GaN, adequada para dispositivos de alta tensão | |
| Propriedades ópticas | Comprimento de onda de emissão | 365-405 nm (UV/Azul) | Comprimento de onda de emissão de material GaN, usado em LEDs e lasers |
| Coeficiente de Absorção | ~10⁴ cm⁻¹ | Coeficiente de absorção de GaN na faixa de luz visível | |
| Propriedades Térmicas | Condutividade Térmica | 130-170 W/m·K | Condutividade térmica da camada GaN; substrato de silício é de aproximadamente 149 W/m·K |
| Coeficiente de Expansão Térmica | 5,6 ppm/°C (GaN), 2,6 ppm/°C (Si) | Incompatibilidade nos coeficientes de expansão térmica de GaN e Si, potencialmente causando estresse | |
| Propriedades Químicas | Estabilidade Química | Alto | GaN tem boa resistência à corrosão, adequado para ambientes agressivos |
| Tratamento de superfície | Livre de poeira, livre de contaminação | Requisito de limpeza para a superfície do wafer GaN | |
| Propriedades Mecânicas | Dureza Mecânica | 9Mohs | Dureza mecânica do GaN, proporcionando resistência ao desgaste e durabilidade |
| Módulo de Young | 350 GPa (GaN), 130 GPa (Si) | Módulo de Young de GaN e Si, afetando as propriedades mecânicas do dispositivo | |
| Parâmetros de produção | Método de crescimento epitaxial | MOCVD, HVPE, MBE | Métodos comuns de crescimento epitaxial para camadas GaN |
| Taxa de rendimento | Depende do controle do processo e do tamanho do wafer | O rendimento é influenciado por fatores como densidade de deslocamento e arco de wafer | |
| Temperatura de crescimento | 1000-1200°C | Temperatura típica para crescimento epitaxial da camada GaN | |
| Taxa de resfriamento | Resfriamento controlado | A taxa de resfriamento geralmente é controlada para evitar estresse térmico e arco de wafer |
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Os substratos GaN-on-Si são usados principalmente em diversas aplicações importantes:
Eletrônica de Potência: GaN-on-Si é amplamente utilizado em transistores e conversores de potência devido à sua alta eficiência, rápidas velocidades de comutação e capacidade de operar em altas temperaturas, tornando-o ideal para fontes de alimentação, veículos elétricos e sistemas de energia renovável.
Dispositivos RF: Os substratos GaN-on-Si são empregados em amplificadores de RF e transistores de micro-ondas, particularmente em comunicações 5G e sistemas de radar, onde o desempenho de alta potência e frequência é crucial.
Tecnologia LED: GaN-on-Si é usado na produção de LEDs, especialmente LEDs azuis e brancos, oferecendo soluções de fabricação econômicas e escaláveis para iluminação e displays.
Fotodetectores e Sensores: GaN-on-Si também é utilizado em fotodetectores UV e vários sensores, beneficiando-se do amplo bandgap do GaN e da alta sensibilidade à luz UV.
Essas aplicações destacam a versatilidade e a importância dos substratos GaN-on-Si na eletrônica e optoeletrônica modernas.
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P: Por que GaN em vez de si?
UM:GaN em Si oferece uma solução econômica para eletrônicos de alto desempenho, combinando as vantagens do amplo bandgap, alta mobilidade de elétrons e condutividade térmica do GaN com a escalabilidade e acessibilidade dos substratos de silício. GaN é ideal para aplicações de alta frequência, alta tensão e alta temperatura, tornando-o uma escolha superior para eletrônica de potência, dispositivos de RF e LEDs. Os substratos de silício permitem tamanhos de wafer maiores, reduzindo os custos de produção e facilitando a integração com os processos de fabricação de semicondutores existentes. Embora existam desafios como incompatibilidade de rede e diferenças de expansão térmica, técnicas avançadas ajudam a mitigar esses problemas, tornando o GaN sobre Si uma opção atraente para aplicações eletrônicas e optoeletrônicas modernas.
P: O que é GaN-on-Si?
R:GaN-on-Si refere-se a camadas de nitreto de gálio (GaN) cultivadas em um substrato de silício (Si). GaN é um semicondutor de banda larga conhecido por sua alta mobilidade eletrônica, condutividade térmica e capacidade de operar em altas tensões e temperaturas. Quando cultivado em silício, combina as propriedades avançadas do GaN com a relação custo-benefício e a escalabilidade do silício. Isso torna o GaN-on-Si ideal para aplicações em eletrônica de potência, dispositivos de RF, LEDs e outros dispositivos eletrônicos e optoeletrônicos de alto desempenho. A integração com o silício permite tamanhos de wafer maiores e compatibilidade com os processos de fabricação de semicondutores existentes, embora desafios como incompatibilidade de rede precisem ser gerenciados.