Máquina de Polimento por Feixe de Íons
Precisão em Nível Atômico · Processamento Sem Contato · Superfícies Ultra-Suaves

Visão Geral do Produto da Máquina de Polimento por Feixe de Íons
 

A Máquina CNC de Modelagem/Polimento por Feixe de Íons opera com base no princípio de sputtering iônico. Em condições de vácuo, a fonte de íons gera um feixe de plasma, que é acelerado em um feixe de íons que bombardeia a superfície da peça para remoção de material em nível atômico, permitindo a fabricação ultraprecisa de componentes ópticos.

Esta tecnologia oferece processamento sem contato, livre de tensão mecânica ou danos subsuperficiais, e é ideal para óptica de alta precisão em astronomia, aeroespacial, semicondutores e pesquisa científica.

Princípio de Funcionamento da Máquina de Polimento por Feixe de Íons

• Geração de Íons – Gás inerte (por exemplo, argônio) é introduzido na câmara de vácuo e ionizado por um campo de descarga elétrica.

• Aceleração de Íons e Formação de Feixe – Os íons são acelerados para centenas ou milhares de elétron-volts (eV) e moldados em um ponto de feixe estável por meio de óticas de foco.

• Remoção de Material – O feixe de íons pulveriza fisicamente os átomos da superfície sem reações químicas.

• Medição de Erros e Planejamento de Trajetória – Os erros de figura da superfície são medidos por interferometria, então as funções de remoção são usadas para calcular os tempos de permanência do feixe e gerar trajetórias de processamento.

• Correção em Malha Fechada – Os ciclos de processamento e medição são repetidos até que os alvos RMS/PV sejam alcançados.

Características do Equipamento da Máquina de Polimento por Feixe de Íons

• Processamento sem contato – Capaz de lidar com todas as formas de superfície

• Taxa de remoção estável – Precisão de correção de figura sub-nanométrica

• Sem danos subsuperficiais – Preserva a integridade óptica

• Alta consistência – Flutuação mínima em materiais de dureza variável

• Correção de baixa/média frequência – Sem geração de erros de média-alta frequência

• Baixo custo de manutenção – Operação contínua de longo prazo com tempo de inatividade mínimo

Capacidade de Processamento do Equipamento da Máquina de Polimento por Feixe de Íons

Superfícies Disponíveis:

• Componentes Ópticos Simples: Plano, esfera, prisma

• Componentes Ópticos Complexos: Asfera simétrica/assimétrica, asfera fora do eixo, superfície cilíndrica

• Componentes Ópticos Especiais: Óptica ultrafina, óptica de lâminas, óptica hemisférica, óptica conformada, placas de fase, superfícies de forma livre, outras formas personalizadas

Materiais Disponíveis:

• Vidro óptico comum: Quartzo, Microcristalino, K9, etc.

• Óptica infravermelha: Silício, Germânio, etc.

• Metais: Alumínio, Aço Inoxidável, Liga de Titânio, etc.

• Materiais cristalinos: YAG, Carbeto de Silício Monocristalino, etc.

• Outros materiais duros/quebradiços: Carbeto de Silício, etc.

Qualidade/Precisão da Superfície:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0,5 nm

Vantagens do Produto da Máquina de Polimento por Feixe de Íons

• Precisão de remoção em nível atômico – Permite superfícies ultra-suaves para sistemas ópticos exigentes

• Compatibilidade versátil de formas – De óptica plana a formas livres complexas

• Ampla adaptabilidade de materiais – De cristais de precisão a cerâmicas duras e metais

• Capacidade de grande abertura – Processa óptica de até Φ4000 mm

• Operação estável estendida – Funciona de 3 a 5 semanas sem manutenção da câmara de vácuo

Modelos Típicos da Máquina de Polimento por Feixe de Íons

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• Eixos de Movimento: 3 eixos / 5 eixos

• Tamanho Máximo da Peça: até Φ4000 mm

Caso 1 – Espelho Plano Padrão

• Peça: Plano de quartzo D630 mm

• Resultado: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

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Caso 2 – Espelho Refletor de Raios X

• Peça: Plano de silício de 150 × 30 mm

• Resultado: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Inclinação 0,13 µrad

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Caso 3 – Espelho Fora do Eixo

• Peça: Espelho moído fora do eixo D326 mm

• Resultado: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Campos de Aplicação da Máquina de Polimento por Feixe de Íons

• Óptica astronômica – Espelhos primários/secundários de grandes telescópios

• Óptica espacial – Sensoriamento remoto por satélite, imagem espacial profunda

• Sistemas de laser de alta potência – Óptica ICF, modelagem de feixe

• Óptica de semicondutores – Lentes e espelhos de litografia

• Instrumentação científica – Espelhos de raios X/nêutrons, componentes padrão de metrologia

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Sobre Nós

A ZMSH é especializada em desenvolvimento de alta tecnologia, produção e vendas de vidro óptico especial e novos materiais cristalinos. Nossos produtos atendem a eletrônicos ópticos, eletrônicos de consumo e militares. Oferecemos componentes ópticos de safira, capas de lentes de telefones celulares, cerâmica, LT, carbeto de silício SIC, quartzo e wafers de cristal semicondutor. Com expertise qualificada e equipamentos de ponta, nos destacamos no processamento de produtos não padronizados, com o objetivo de ser uma empresa de alta tecnologia em materiais optoeletrônicos.