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Pin de elevação de safira de alta pureza para manipulação de wafer de semicondutor
Detalhes do produto:
| Place of Origin: | China |
| Marca: | ZMSH |
Condições de Pagamento e Envio:
| Quantidade de ordem mínima: | 1 |
|---|---|
| Payment Terms: | T/T |
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Informação detalhada |
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| Materiais: | Único Crystal Sapphire | Dimensions: | Customized |
|---|---|---|---|
| A rugosidade da superfície: | Ra ≤ 0,02 μm | Working Temperature: | >2000°C |
| Forma da ponta: | Plano, redondo, afiado | Mounting: | Mechanical or Threaded |
| Destacar: | Pin de elevação de safira para manipulação de wafer de semicondutor,Tamanhos personalizados Sapphire Lift Pin,Pin de elevação de safira de alta pureza |
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Descrição de produto
Introdução ao produto
O pin de elevação de safira é um pin de elevação feito de safira de cristal único de alta pureza, usado principalmente em equipamentos de fabricação de semicondutores para suportar e mover wafers.Graças à sua excelente resistência a altas temperaturasA estabilidade química e a dureza extrema permitem que o alfinete de safira mantenha um desempenho estável em ambientes adversos.Prolonga a vida útil do equipamento, e melhora o rendimento global do processo.
Princípio básico
O princípio básico de um alfinete de safira é levantar ou baixar com precisão as wafers durante o processamento para garantir o posicionamento adequado.Vários pinos de elevação de safira geralmente funcionam juntos para evitar que a bolacha se deforme ou danifique.Porque o alfinete de safira resiste a altas temperaturas, vácuo e ambientes corrosivos, oferece uma vida útil muito mais longa e uma maior confiabilidade do que os materiais convencionais.
Especificações
| Ponto | Especificações |
|---|---|
| Materiais | Safira de cristal único |
| Dimensões | Personalizado |
| Superfície rugosa | Ra ≤ 0,02 μm |
| Temperatura de funcionamento | > 2000°C |
| Coeficiente de expansão térmica | 50,8 × 10−6 /°C |
| Força flexural | ≥ 400 MPa |
| Transparência | Alta transmissão na faixa visível |
| Resistência à corrosão | Excelente. |
| Forma da ponta | Plano, redondo, cônico |
| Instalação | De peso superior a 200 g/m2 |
Aplicações
Os pinos de elevação de safira são amplamente utilizados em equipamentos para gravação (Etch), deposição química de vapor (CVD), deposição física de vapor (PVD) e deposição de camada atômica (ALD).e refrigeraçãoOs pinos de elevação de safira desempenham um papel crucial no suporte e no posicionamento, especialmente nos dispositivos optoeletrônicos, na produção de MEMS e na fabricação de semicondutores de potência.O alfinete de safira tornou-se um componente central..
Perguntas e respostas
P1: Por que escolher um alfinete de safira em vez de cerâmica ou metal?
R1: O pin de elevação de safira oferece uma maior resistência química e estabilidade térmica, capaz de funcionar a longo prazo em gases corrosivos e ambientes de alta temperatura.
P2: O alfinete de safira gera partículas durante o uso?
R2: Devido à sua superfície extremamente lisa, o pin de elevação de safira tem um risco extremamente baixo de geração de partículas, tornando-o ideal para processos ultralimpos.
P3: As diferentes máquinas exigem pinos de elevação de safira personalizados?
A3: Sim, dependendo do modelo da máquina e dos requisitos do processo, o alfinete de elevação de safira geralmente precisa ser personalizado em tamanho, forma e interface de conexão.
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