Pin de elevação de safira de alta pureza para manipulação de wafer de semicondutor

Introdução ao produto

O pin de elevação de safira é um pin de elevação feito de safira de cristal único de alta pureza, usado principalmente em equipamentos de fabricação de semicondutores para suportar e mover wafers.Graças à sua excelente resistência a altas temperaturasA estabilidade química e a dureza extrema permitem que o alfinete de safira mantenha um desempenho estável em ambientes adversos.Prolonga a vida útil do equipamento, e melhora o rendimento global do processo.

Princípio básico

O princípio básico de um alfinete de safira é levantar ou baixar com precisão as wafers durante o processamento para garantir o posicionamento adequado.Vários pinos de elevação de safira geralmente funcionam juntos para evitar que a bolacha se deforme ou danifique.Porque o alfinete de safira resiste a altas temperaturas, vácuo e ambientes corrosivos, oferece uma vida útil muito mais longa e uma maior confiabilidade do que os materiais convencionais.

Especificações

Aplicações

Os pinos de elevação de safira são amplamente utilizados em equipamentos para gravação (Etch), deposição química de vapor (CVD), deposição física de vapor (PVD) e deposição de camada atômica (ALD).e refrigeraçãoOs pinos de elevação de safira desempenham um papel crucial no suporte e no posicionamento, especialmente nos dispositivos optoeletrônicos, na produção de MEMS e na fabricação de semicondutores de potência.O alfinete de safira tornou-se um componente central..

Perguntas e respostas

P1: Por que escolher um alfinete de safira em vez de cerâmica ou metal?

R1: O pin de elevação de safira oferece uma maior resistência química e estabilidade térmica, capaz de funcionar a longo prazo em gases corrosivos e ambientes de alta temperatura.

P2: O alfinete de safira gera partículas durante o uso?

R2: Devido à sua superfície extremamente lisa, o pin de elevação de safira tem um risco extremamente baixo de geração de partículas, tornando-o ideal para processos ultralimpos.

P3: As diferentes máquinas exigem pinos de elevação de safira personalizados?

A3: Sim, dependendo do modelo da máquina e dos requisitos do processo, o alfinete de elevação de safira geralmente precisa ser personalizado em tamanho, forma e interface de conexão.

Produtos relacionados