Pin de elevação de safira para semicondutores Pin de elevação de cerâmica Pin de safira de alta pureza

Pin de elevação de safira para semicondutores Pin de elevação de cerâmica Pin de safira de alta pureza

Resumo de Sapphire pin de elevação

Os pinos de elevação de safira são componentes de engenharia de precisão amplamente utilizados em

Equipamento de processamento de semicondutores, em especial para manuseamento de wafers, epitaxialsistemas de crescimento e de deposição, tais como MOCVD (Deposição de Vapor Químico Metal-Orgânico), PECVD (Deposição de Vapor Químico Plasmático), e outros sistemas de alta temperatura, vácuo,ou ambientes corrosivosFabricados a partir de óxido de alumínio monocristalino (Al2O3), também conhecido como safira sintética, estes pinos de elevação são valorizados pela sua excepcional dureza, estabilidade térmica, resistência química,e durabilidade.

Propriedades do pin de elevação Sapphire

Os alfinetes de safira são muitas vezes projetados sob medida

Vantagens dos pinos elevadores de safira

a.Resistência a altas temperaturas

O safiro mantém sua resistência mecânica a temperaturas superiores a 1.500 ° C, tornando-o adequado para reatores epitaxiais e câmaras de deposição onde outros materiais podem deformar, oxidar ou degradar-se.

b. Estabilidade química

O safiro é quimicamente inerte em gases reativos e corrosivos, como H2, NH3 e HF, garantindo desempenho a longo prazo em ambientes de doença cardiovascular e gravação.

c. Dureza extrema

A alta dureza da superfície resiste ao desgaste e arranhões do contato da bolacha e a ação mecânica.

d. Precisão dimensional

O safiro pode ser usinado para tolerâncias apertadas (± 1 μm), garantindo uma altura de elevação consistente da bolacha, precisão de posicionamento e confiabilidade de alinhamento.

e.Geração de partículas baixas

Ao contrário da cerâmica revestida ou dos metais que podem escorrer ou desgasear sob o ciclo térmico, o safiro não produz partículas, o que é crítico para ambientes de processo de salas limpas e ultra-puros.

f.Longa vida útil

A resistência ao desgaste e a estabilidade dos zafiros em condições extremas contribuem para uma frequência de manutenção mais baixa e um tempo de funcionamento mais longo dos equipamentos.

Imagem física do alfinete de safira

Aplicações dos pinos elevadores de safira

Os pinos de elevação de safira são empregados em uma variedade de processos de semicondutores e materiais avançados, onde as wafers precisam ser manipuladas com precisão durante a fabricação.

a. Sistemas MOCVD

• Crescimento de semicondutores compostos à base de GaN, GaAs e InP

• Produção de diodos LED e laser

• Orifícios e substratos preparados para epi

b.Reatores PECVD e LPCVD

• Transferência de wafer durante deposição de filme fino à base de plasma

• Utilizado em microeletrônica, células solares, MEMS e fotônica

c.Fornos de processamento térmico

• Pasos de recozimento, oxidação ou difusão a alta temperatura

d.Inspecção e manipulação de wafer

• Sistemas mecânicos que suportam ou manipulam temporariamente wafers

e.Câmaras de gravação e limpeza

• Quando a resistência química for crítica durante a pré-limpeza ou a retirada da bolacha

Perguntas e respostas

P: Quais são os principais fatores a ter em conta ao comprar alfinetes de safira?

A:Scenário de aplicação

• Condições materiais: Determinar as condições ambientais às quais serão expostos os pinos de elevação, tais como altas temperaturas ou ambientes corrosivos.
• Objetivo: Escolher um projecto adequado com base na aplicação específica (por exemplo, medição espectroscópica, instrumentos de precisão, etc.).

Dimensões e especificações

• Diâmetro e comprimento: Selecionar o diâmetro e o comprimento adequados com base no tamanho das amostras suportadas ou levantadas.
• Requisitos de tolerância: Certifique-se de que os pinos de elevação cumprem os requisitos de tolerância dimensional da sua aplicação para manter a precisão.

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