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November 18, 2025
Conexão de Categoria: Partes de cerâmica
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Tags:
#Braço mecânico de alumínio cerâmico #Copo de sucção cerâmica de alumínio #Al2O3 Alumina Cerâmica
Resumo: Assista a esta visão geral para descobrir por que muitos profissionais prestam atenção à bandeja de carboneto de silício CVD/SSiC de alta pureza para processamento de wafers semicondutores. Saiba mais sobre sua excepcional resistência mecânica, estabilidade térmica e precisão dimensional, projetada para aplicações industriais exigentes.
Recursos de Produtos Relacionados:
  • Projetado com ranhuras anulares multizonais para redução de peso e otimização do fluxo de calor.
  • Apresenta uma rede radial reforçada para maior resistência mecânica e estabilidade rotacional.
  • A superfície usinada de alta precisão garante planicidade e uniformidade de espessura para aplicações em semicondutores.
  • Interface de montagem centralizada permite instalação segura em eixos rotativos e sistemas automatizados.
  • A reforço estrutural no anel externo melhora a resistência à vibração e a estabilidade da carga periférica.
  • Disponível em diversos materiais de alto desempenho, incluindo SSiC, RBSiC, cerâmica de alumina e metais de alta resistência.
  • Ideal para fabricação de semicondutores, produção de LED, processamento de materiais avançados e máquinas de precisão.
  • Oferece eficiência térmica, durabilidade estrutural, estabilidade do processo e capacidade de personalização para diversas necessidades industriais.
Perguntas Frequentes:
  • O que é uma bandeja de cerâmica SiC?
    Uma bandeja cerâmica de SiC é um suporte de precisão feito de carbeto de silício de alta pureza, projetado para suportar, carregar e transportar wafers ou substratos durante a fabricação de semicondutores, LED, óticos e processos a vácuo. Oferece excepcional estabilidade térmica, resistência mecânica e resistência à deformação em ambientes agressivos.
  • Quais são as vantagens de usar bandejas de SiC em comparação com bandejas de quartzo, grafite ou alumínio?
    As bandejas de SiC oferecem benefícios de desempenho superiores, incluindo resistência a altas temperaturas de até 1600-1800°C, excelente condutividade térmica, resistência mecânica excepcional, baixa expansão térmica, alta resistência à corrosão e maior vida útil sob condições contínuas de fabricação de alta tensão.
  • Para que aplicações as bandejas de cerâmica SiC são principalmente utilizadas?
    As bandejas de SiC são amplamente utilizadas no manuseio de wafers semicondutores, nos processos LPCVD, PECVD, MOCVD, processamento térmico, recozimento, difusão, oxidação e epitaxia, carregamento de wafers de safira/substratos ópticos, ambientes de alto vácuo e alta temperatura, e plataformas de fixação de precisão para CMP ou polimento.
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