Barco de Wafer de Quartzo de alta pureza e resistente a altas temperaturas

Introdução ao produto

Um barco de wafer, também conhecido como barco ou transportador, é uma ferramenta crítica na fabricação de semicondutores para segurar, transferir e posicionar wafers.A sua concepção deve suportar condições extremas, tais como altas temperaturas (> 1000°C), corrosão química e descarga eletrostática (ESD) para garantir a segurança das placas durante vários processos.

Princípio

- Não.Alinhamento e fixação:
Os furos de posicionamento no barco alinham-se com pinos na cassete de wafer, permitindo a transferência de lotes sem manuseio manual.
Esferas de duas camadas (superiores e inferiores) que protegem as placas durante o ciclo térmico (por exemplo, recozimento).

- Não.Gestão do stress térmico:
Material de baixa expansão térmica (0,5×10−6/°C) minimiza a deformação sob flutuações de temperatura.
A estrutura do favo de mel distribui o estresse térmico uniformemente.

Compatibilidade do processo:
As geometrias de ranhuras (por exemplo, tipo I, tipo V) acomodam diferentes espessuras de wafer (300 ¢ 800 μm) enquanto garantem o fluxo do reagente em fase gasosa.
A secção transversal em forma de diamante permite carregamento robótico bidirecional, melhorando o rendimento.

Segurança e Proteção:
Os componentes tampão (molas, almofadas de borracha) absorvem choques mecânicos durante a colocação da bolacha.
A depuração por nitrogênio remove resíduos, evitando a contaminação

Características

O vidro de sílica fundido é um vidro industrial especializado feito de dióxido de silício (SiO2).

• - Não.Resistência a altas temperaturas

Ponto de amolecimento: ~ 1730°C.
Funciona continuamente a 1100~1250°C e resiste à exposição a curto prazo até 1450°C.

• - Não.Inercia química:

Resistente à maioria dos ácidos (exceto ácido fluorídrico).
A resistência à corrosão é 30 vezes superior à da cerâmica e 150 vezes superior à do aço inoxidável.
Mantenha estabilidade em condições térmicas extremas, superando outros materiais.

• Estabilidade térmica:

Coeficiente de expansão térmica extremamente baixo (~ 5,5×10−7/°C).
Resiste a choques térmicos (por exemplo, aquecimento a 1100°C e apagamento em água).

• - Não.Transparência óptica:

Transmissão espectral larga do ultravioleta (UV) para o infravermelho (IR).
Transmissão da luz visível: > 95%.
Os picos de transmissão UV são > 85% na faixa de 185 ~ 250 nm.

• - Não.Isolamento elétrico:

A resistência é 10.000 vezes maior do que o vidro comum.
Excelentes propriedades dielétricas, mesmo a altas temperaturas.

Aplicações