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Barco de Wafer de Quartzo de alta pureza e resistente a altas temperaturas
Detalhes do produto:
| Lugar de origem: | China |
| Marca: | ZMSH |
Condições de Pagamento e Envio:
| Quantidade de ordem mínima: | 1 |
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Informação detalhada |
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| Pureza do material: | SiO2≥ 99,999% | Ponto de fusão: | 1730°C (Ponto de amolecimento) |
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| Capacidade máxima da bolacha: | 25 wafers (tamanho padrão) | Resistência ao ácido: | Resistentes aos ácidos sulfúrico, nítrico e clorídrico (excepto HF) |
| Resistência à corrosão: | 30 vezes superior à cerâmica, 150 vezes superior ao aço inoxidável | Processos compatíveis: | Difusão de semicondutores, recozimento, dopagem fotovoltaica, reações de laboratório |
| Destacar: | Barco de Wafer de Quartzo de Alta Pureza,Barco de wafer de quartzo personalizável,Barco de wafer de quartzo resistente a altas temperaturas |
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Descrição de produto
Introdução ao produto
Um barco de wafer, também conhecido como barco ou transportador, é uma ferramenta crítica na fabricação de semicondutores para segurar, transferir e posicionar wafers.A sua concepção deve suportar condições extremas, tais como altas temperaturas (> 1000°C), corrosão química e descarga eletrostática (ESD) para garantir a segurança das placas durante vários processos.
Princípio
- Não.Alinhamento e fixação:
Os furos de posicionamento no barco alinham-se com pinos na cassete de wafer, permitindo a transferência de lotes sem manuseio manual.
Esferas de duas camadas (superiores e inferiores) que protegem as placas durante o ciclo térmico (por exemplo, recozimento).
- Não.Gestão do stress térmico:
Material de baixa expansão térmica (0,5×10−6/°C) minimiza a deformação sob flutuações de temperatura.
A estrutura do favo de mel distribui o estresse térmico uniformemente.
Compatibilidade do processo:
As geometrias de ranhuras (por exemplo, tipo I, tipo V) acomodam diferentes espessuras de wafer (300 ¢ 800 μm) enquanto garantem o fluxo do reagente em fase gasosa.
A secção transversal em forma de diamante permite carregamento robótico bidirecional, melhorando o rendimento.
Segurança e Proteção:
Os componentes tampão (molas, almofadas de borracha) absorvem choques mecânicos durante a colocação da bolacha.
A depuração por nitrogênio remove resíduos, evitando a contaminação
Características
O vidro de sílica fundido é um vidro industrial especializado feito de dióxido de silício (SiO2).
- - Não.Resistência a altas temperaturas
Ponto de amolecimento: ~ 1730°C.
Funciona continuamente a 1100~1250°C e resiste à exposição a curto prazo até 1450°C.
- - Não.Inercia química:
Resistente à maioria dos ácidos (exceto ácido fluorídrico).
A resistência à corrosão é 30 vezes superior à da cerâmica e 150 vezes superior à do aço inoxidável.
Mantenha estabilidade em condições térmicas extremas, superando outros materiais.
- Estabilidade térmica:
Coeficiente de expansão térmica extremamente baixo (~ 5,5×10−7/°C).
Resiste a choques térmicos (por exemplo, aquecimento a 1100°C e apagamento em água).
- - Não.Transparência óptica:
Transmissão espectral larga do ultravioleta (UV) para o infravermelho (IR).
Transmissão da luz visível: > 95%.
Os picos de transmissão UV são > 85% na faixa de 185 ~ 250 nm.
- - Não.Isolamento elétrico:
A resistência é 10.000 vezes maior do que o vidro comum.
Excelentes propriedades dielétricas, mesmo a altas temperaturas.
Aplicações
Energia fotovoltaica:Tratamento térmico e dopagem de wafers de silício.
P & D:Reatores de alta temperatura em laboratório e ensaios de materiais